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返回電子潔凈車間的潔凈度和換氣標準規范

發布時間:2025-01-03 瀏覽次數:45
  電子潔凈車間的潔凈度等級劃分  電子潔凈車間的潔凈度等級通常根據ISO 14...

  電子潔凈車間的潔凈度等級劃分  

電子潔凈車間的潔凈度等級通常根據ISO 14644標準或類似的國際/國內標準來劃分。ISO 14644標準將潔凈度等級分為ISO 5至ISO 9級,其中ISO 5級潔凈度更高,ISO 9級潔凈度更低。在電子凈化車間中,通常需要達到ISO 5至ISO 7級的潔凈度等級,以保證電子產品的生產質量。  

ISO 5級:每立方米空氣中直徑大于0.5微米的塵埃顆粒數不超過3,520個。這一級別適用于對潔凈度要求極高的電子產品生產,如半導體芯片制造等。在這些領域,任何微小的顆粒都可能對產品的性能和可靠性產生嚴重影響。  

ISO 6級:每立方米空氣中直徑大于0.5微米的塵埃顆粒數不超過8,830個。這一級別適用于對潔凈度要求較高的電子產品生產。雖然相較于ISO 5級,ISO 6級的潔凈度略有降低,但仍然能夠滿足大多數高端電子產品的生產需求。  

ISO 7級:每立方米空氣中直徑大于0.5微米的塵埃顆粒數不超過29,300個。這一級別適用于一般潔凈度要求的電子產品生產。在ISO 7級潔凈度下,雖然空氣中的顆粒濃度相對較高,但仍然能夠確保產品的基本質量和性能。  

電子潔凈車間的換氣標準規范  

為了確保電子潔凈車間的潔凈度達到規定等級,必須嚴格控制車間的換氣次數和換氣方式。換氣次數是指單位時間內車間內空氣被更新的次數,它直接影響車間內空氣的潔凈度和穩定性。  

換氣次數的確定:根據我國的《潔凈廠房設計規范》(GB 50073-2001),不同級別的非單向流潔凈室潔凈送風量計算所需的經驗換氣次數有所不同。對于層高小于4.0m的潔凈室,換氣次數應根據潔凈度等級和室內人數、熱源等因素來確定。一般來說,大于100,000級的潔凈室換氣次數不小于12次/小時,而更高潔凈度等級的潔凈室則需要更高的換氣次數。  

換氣方式的選擇:電子潔凈車間的換氣方式通常包括單向流換氣和非單向流換氣兩種。單向流換氣是指空氣從潔凈區的一側流向另一側,形成單向流動,適用于對潔凈度要求極高的場合。非單向流換氣則是指空氣在車間內形成渦流或混合流動,適用于一般潔凈度要求的場合。在選擇換氣方式時,應根據車間的實際情況和潔凈度要求來確定。  

空氣過濾系統的配置  

為了確保電子潔凈車間的潔凈度達到規定等級,必須配置高效的空氣過濾系統。空氣過濾系統通常包括初效過濾器、中效過濾器和高效過濾器(如HEPA過濾器或ULPA過濾器)等各級別的過濾器。  

初效過濾器:初效過濾器是空氣過濾系統的道防線,主要用于去除空氣中的大顆粒污染物,如灰塵、毛發等。初效過濾器的過濾效率較低,但能夠有效地延長后續過濾器的使用壽命。  中效過濾器:中效過濾器位于初效過濾器和高效過濾器之間,用于去除空氣中的中等大小顆粒污染物。中效過濾器的過濾效率較高,能夠有效地去除空氣中的細菌、病毒等微生物。  高效過濾器:高效過濾器是空氣過濾系統的更后一道防線,用于去除空氣中的微小顆粒污染物,如塵埃粒子、病毒等。高效過濾器的過濾效率極高,能夠有效地確保車間內空氣的潔凈度達到規定等級。  

正壓控制與空氣流動控制  

為了確保電子潔凈車間的潔凈度不受外部環境的影響,必須保持車間的正壓狀態,并通過合理的空氣流動控制來實現。  

正壓控制:正壓控制是指通過調節車間的進風量和排風量,使車間內的氣壓高于外部環境的氣壓。這樣,外部空氣和污染物就無法通過門窗等縫隙進入車間內,從而確保車間的潔凈度不受影響。為了實現正壓控制,通常需要配置正壓控制系統和壓差指示裝置。  

空氣流動控制:空氣流動控制是指通過合理布置進風口和排風口,并通過風機和風道系統控制空氣的流向和速度。這樣,就能夠確保車間內的空氣潔凈度均勻分布,避免出現局部污染的情況。為了實現空氣流動控制,通常需要配置空氣流動控制系統和風速監測裝置。  

溫濕度控制與微生物控制  

除了空氣過濾和換氣控制外,還需要嚴格控制車間內的溫濕度和微生物含量,以確保產品的質量和生產環境的穩定性。  

溫濕度控制:車間內的溫度和濕度需要控制在適宜的范圍內,以確保產品的質量和生產環境的穩定性。一般來說,溫度應控制在22℃±2℃的范圍內,相對濕度應控制在55%±5%的范圍內。為了實現溫濕度控制,通常需要配置除濕設備、溫度控制系統和加濕設備等。  

微生物控制:微生物控制是指通過采取一系列措施來減少車間內微生物的含量,以避免對產品造成污染。常見的微生物控制措施包括定期消毒、使用無菌操作工具、控制人員流動等。此外,還可以通過配置微生物監測裝置來實時監測車間內的微生物含量,以便及時采取措施進行處理。

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